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全球微头条丨毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源研究装置_关于毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源研究装置简述


(资料图片仅供参考)

1、 毛细管放电三束等离子体极紫外光刻光源研究装置是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器。

2、于2014年1月1日启用。

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